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- 松山湖材料实验室功能纳米材料与器件平台扫描电镜-电子束曝光系统设备采购项目，采购预算99.5万元。经采购需求部门进行市场调研及比价后，拟由广州杉利贸易有限公司提供（或承担），产品型号:** VEGA LMS+EBL**** **，价格:134,420美元（折合约995，000元人民币）。 供应商征求意见及实验室内公示。公示期限从2022年9月27日至2022年9月30日止。潜在政府采购供应商等对公示内容有异议的，请于公示期满后两个工作日内以实名书面形式将意见（包括质疑意见和相关依据、联系人、联系电话、地址等）反馈至松山湖材料实验室科研部（联系人：林千永，联系电话：0769-89136773，地址：东莞市松山湖大学创新城A1栋）。
- 暨南大学电子束光刻机（EBPG)采购于2017年，制造商荷兰为Raith B.V.，于2019年到货验收，仪器总金额为14,498,00.00元，维修期将于2022年12月20日到期。此台设备为微纳加工中非常重要的设备，现在不单只服务于校内用户，还为中山大学、广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院、华为终端有限公司等校外单位提供加工服务。
- 华中科技大学电子束曝光系统维护保养采购项目成交公告：成交金额（欧元）：49000欧元/年
- https://xxgk.fudan.edu.cn/_upload/article/files/54/55/7fec777d46b09f255d70934883ac/1a73f612-f9fc-4be6-ad4d-dc844ac9e36b.pdf https://czzx.fudan.edu.cn/_upload/article/files/38/36/bb74c17142c199f83b63f436ce88/5cb3930e-4b0d-4773-93af-067d978df9d2.pdf
- 南京大学电子束光刻机系统两年维保 118616欧元